該設備是一套多維超快激光精細微加工系統，通過精密控制多維微位移系統的運動，實現各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微加工。
設備型號：LMS-10，該設備是一套多維超快激光精細微加工系統，通過精密控制多維微位移系統的運動，實現各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微加工。
◆ 采用多軸平臺，可實現各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微納加工。
◆ 材料適應性強，對各類金屬、陶瓷、晶體、半導體以及高分子聚合材料進行超精細精密鉆孔、切割、蝕刻以及劃槽等微加工處理。
◆ 激光種類：超短脈沖激光
◆ 波長：1064nm，532nm，355nm（波段可選擇，可集成雙光路系統、三光路系統）
◆ X/Y/Z軸定位精度：±2um / ±2um / ±4um
◆ X/Y/Z軸重復定位精度：±1.5um / ±1.5um / ±3um
◆ A/B角度定位精度： 0.003° / 0.003°
◆ A/B角度重復定位精度：0.001° / 0.001°
▌加工效果示例圖：
合金無錐度通孔加工
脆性材料的微盲槽加工
噴油嘴打孔3D微孔加工
三維柵網加工
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