五軸激光微納加工設備
該設備是一套多維超快激光精細微加工系統，通過精密控制多維微位移系統的運動，實現各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微加工。
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該系統配備超快激光，可實現高速振鏡掃描、群孔微納孔加工、高徑深比孔、超疏水微納結構、仿生學表面微結構的制備，以及材料表面可定制化深度、可選擇材料種類的剝離、刻蝕等功能。
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